Description
Le vaporisateur ultrasonique pour revêtements UAM4000 M / UAC4000S est l’outil idéal pour produire des revêtements durables et uniformes par ex dans les applications de process R&D.
Cet équipement de pulvérisation ultrasonique de films minces combiné à une nouvelle technologie de pulvérisation et de contrôle permettant de réaliser des revêtements de films plus uniformes, plus fins et davantage contrôlables.
Le UAM 4000M / UAC 4000S peut être utilisé avec une gamme complète de buses à ultrasons, en intégrant plusieurs systèmes tels que les ultrasons, un gaz vecteur, une table chauffante, l'adsorption sous vide et l'émission de gaz d'échappement.
ll convient à la préparation de films minces de petite ou moyenne surface et convient également aux applications de pyrolyse par pulvérisation.
2 versions distinctes sont proposées :
- UAM4000M : Surface de pulvérisation maximale : 300 x 300 mm
- UAC4000S : surface de pulvérisation maximale : 150 x 150 mm
Caractéristiques techniques :
- Système de déplacement :
Système de revêtement de précision à 3 axes
Vitesse de la tête :
- Axe X jusqu'à 300 mm/sec
- Axe Y jusqu'à 300 mm/sec
- Axe Z jusqu'à 50 r/sec
Répétabilité : ± 0,02 mm
Uniformité : Pointeur laser
- Système à ultrasons :
- 1 x générateur (Précision du contrôle 0,01 W)
- 1 x UCW502 (type large)
- Taille moyenne des particules 38 μm
- Largeur de pulvérisation 10-80 mm
- Épaisseur du film après pulvérisation 10 nm-100 μm
- Plage de débit 0,5-50 ml/ min
- Système de contrôle :
- Écran tactile 7"
- Interface conviviale
- 3 niveaux de connexion utilisateur :
- Opérateur
- Superviseur
- Technicien
- Jusqu’à 10 000 programmes de stockage
- Système de distribution de liquide :
- 1 x pousse-seringue de précision
- 1 x seringue de précision (50 ml)
- Système de chargement : plaque chauffante sous vide :
- Plage de température de chauffage : 0-100℃ (sous vide)
- Plage de température de chauffage : 0-150℃ (sous atmosphère ambiante)
- Précision de contrôle de la température : ±1℃
- Uniformité de la température : 2°C
- Système d'éclairage : LED
- Système d'émission des gaz : à turbine (connecté au système d'échappement du laboratoire ou de la salle de nettoyage)
- Alarme système : tour d'éclairage tricolore
- En option est proposée :
- Système de vision par caméra (à confirmer à la commande) :
- Résolution : 2592 x 1944 pixels
- Sert de système de surveillance interne (généralement utilisé dans le domaine médical) permettant de mieux voir le process de vaporisation
- Alimentation : 220-240 VAC 50/60 Hz, 16A
- Air : Air pur/sec ou azote (0,05 Mp)
- Dimensions : 1040 L x 750 P x 950 H (mm)
- Poids : 220 kg
Avantages :
- Idéal pour la R&D ou la production en faible volume
- Revêtement fiable, reproductible et cohérent, avec une uniformité de ± 5%
- Taux d'utilisation du matériau > 95%
- Surface de pulvérisation maximale : 150 x 150 mm / 300 x 300 mm en fonction de la version choisie
- Uniformité du dépôt : ±5%
- Pulvérisation douce à faible vitesse pour éviter les pulvérisations excessives
- Matériau de revêtement réduit jusqu'à 80%
- Pollution atmosphérique minimisée
- Buse à ultrasons autonettoyante empêchant le colmatage
- Maintenance et temps d'arrêt minimisés
- Possibilité de pulvérisation de précision continue ou intermittente à très faible débit
- Matériaux en acier inoxydable et titane résistant à la corrosion
