Gamme complète de spin coaters et spin processors

Laurell leader mondial de ce marché , propose une gamme complète de Spin coaters et Spin processors.
ll a produit depuis 1985 plus de 30.000 systèmes installés dans le monde entier pour les semi-conducteurs, biotechnologies et nanotechnologies.

ES France est le nouveau distributeur de LAURELL !

On distingue dans la gamme LAURELL, 2 types distincts d’instruments :

• Spin coaters standards : pour process à vide ou non à vide : Utilisés dans les laboratoires de R&D ou par ex dans la fabrication de lentilles ophtalmiques
• EDC Spin processeurs : systèmes plus complexes (jamais à vide) dédiés aux opérations EDC avec E (Etch = gavage) + D (Développement) + C (Clean = nettoyage)

Ils sont dédiés à exécuter in-situ un process séquentiel fait un nombre spécifique d’opérations qui intègrent généralement des acides, des solvants ou des bases. Ils sont généralement utilisés dans les process de production de wafers (de 150 à 300 mm) soit wafers ronds pour semi-conducteurs, soit wafers carrés pour panneaux solaires ou photomasque.

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