Description
La série EDC-300 est une nouvelle génération de MFC/MFM. Elle intègre de nombreuses technologies de mesure et de contrôle des fluides parmi les plus avancées au monde. Basée sur un capteur de différence de température thermique capillaire, elle intègre une technologie avancée d'équilibrage automatique des différences de température pour garantir une stabilité, une linéarité et une réponse dynamique exceptionnelles. Le corps de base est en acier inoxydable 316L, adapté aux gaz toxiques et corrosifs. La pression de service maximale peut atteindre 1 500 psi et le débit maximal 1 000 SLM. Le nouveau circuit de contrôle de mesure numérique, la fonction I0 numérique, plusieurs protocoles de communication en option, la compatibilité avec la communication analogique, une version LCD en option et un affichage pratique sur site sont disponibles. Les performances exceptionnelles de la série EDC en font le partenaire idéal pour les applications de haute qualité.
Caractéristiques techniques :
Plage de réglage et pression de travail :
| Modèle |
Pleine échelle maximale (norme N2) |
Pleine échelle minimale (norme N2) |
Pression d’utilisation maximale |
| EDC-310/1/5/6 |
10 SLM |
3 SCCM |
100 bars |
| EDC-320/1/5/6 |
30 SLM |
10 SCCM |
100 bars |
| EDC-330/1/5/6 |
100 SLM |
30 SLM |
100 bars |
| EDC-340/1/5/6 |
200 SLM |
100 SLM |
30 bars |
| EDC-350/1/5/6 |
400 SLM |
200 SLM |
30 bars |
| EDC-360/1/5/6 |
2000 SLM |
400 SLM |
30 bars |
Note : SCCM (millilitres standard par minute) SLM (millilitres standard par minute) conditions standard (0℃, 101,3 kPa)
- Précision du débit : ±0,8 % de la mesure réelle et ±0,2 % de la pleine échelle ; ±1 % de la mesure réelle et ±0,5 % de la pleine échelle (> 100 SLM)
- Répétabilité : ±0,2 % de la pleine échelle
- Plage de contrôle : 1 à 100 % de la pleine échelle
- Temps de réponse : < 1 s
- Coefficient de température : Zéro : < 0,05 % de la pleine échelle/℃. Étendue de mesure : < 0,1 % de la pression statique/°C
- Coefficient de pression : 0,2 % de la pression statique/bar
- Température de fonctionnement : 0 à 50 °C
- Taux de fuite : 1 x 10-9 atm.cc/sec He
- Temps de préchauffage : Précision de 5 min à ±2 % de la pleine échelle (30 min pour une précision optimale)
- Alimentation : +15 à 24 V CC
- Consommation maximale : 10 W (MFC) ; 3 W (MFM)
- Communication numérique : RS-485 (protocole Modbus RTU)
- Communication analogique : 0~5 V / 4~20 mA
- Interface électrique : Connecteur D 9 broches (mâle)
- Type de vanne : Normalement fermée (MFM sans signification)
- Matériau du substrat : Acier inoxydable 316L
- Matériau d'étanchéité : Caoutchouc fluoré, caoutchouc EPDM, caoutchouc nitrile
- Raccords process : Raccords pour tubes/VCR
Avantages :
- Mesure et contrôle précis
- Fonction de commutation multi-gaz
- Réponse rapide, haute répétabilité
- Insensible à la température et à la pression
- Adaptabilité élevée aux différences de pression
- Pression de service maximale jusqu'à 100 bars
- Communication numérique, compatible avec la communication analogique
- Écran LCD en option pour un fonctionnement et un affichage local
- Applications numériques de haute qualité
Applications types :
Fabrication de semi-conducteurs, équipements photovoltaïques, équipements sous vide, préparation de matériaux, industrie pétrochimique, instruments d'analyse, fusion des métaux, traitement de surface et autres domaines.
