Description
Outre la technologie avancée d'équilibrage automatique des différences de température de la génération précédente, la série EDC-500 associe des capteurs de mesure ultra-stables et précis à des vannes de régulation rapides et précises et à des composants électroniques performants. Ensemble, ils assurent un contrôle précis du procédé gazeux. Un circuit d'écoulement entièrement métallique ultra-pur et de haute intégrité, ainsi qu'une étanchéité efficace et durable, garantissent la pureté du procédé. La série EDC-500 est particulièrement adaptée à l'industrie des semi-conducteurs et aux applications de gaz de haute pureté.
Caractéristiques techniques :
Plage de réglage et pression de travail :
| Modèle |
Pleine échelle maximale (norme N2) |
Pleine échelle minimale (norme N2) |
Pression d’utilisation maximale |
| EDC-510 |
10 SLM |
3 SCCM |
100 bars |
| EDC-520 |
30 SLM |
10 SCCM |
30 bars |
Note : SCCM (millilitres standard par minute) SLM (millilitres standard par minute) conditions standard (0 ℃, 101,3 kPa)
- Précision du débit : ± 0,8 % de la mesure réelle et ± 0,2 % de la mesure réelle
- Répétabilité : ± 0,2 % de la mesure réelle
- Plage de contrôle : 1 à 100 % de la mesure réelle
- Temps de réponse : < 1 s
- Coefficient de température : Zéro : < 0,05 % de la mesure réelle/℃. Étendue de mesure : < 0,1 % de la mesure réelle/℃
- Coefficient de pression : 0,2 % de la mesure réelle/bar
- Température de fonctionnement : 0 à 50 °C
- Taux de fuite : 1 x 10-11 atm. cc/sec He
- Temps de préchauffage : 5 min de précision à ± 2 % de la mesure réelle (30 min pour une précision optimale)
- Alimentation : +15 à 24 V CC
- Consommation maximale : 10 W (MFC) ; 3 W (MFM)
- Communication numérique : RS-485 / DeviceNet
- Communication analogique : 0~5 V / 4~20 mA
- Interface électrique : Connecteur D 9 broches (mâle) / Connecteur DeviceNet
- Type de vanne : Normalement fermée (MFM sans signification)
- Matériau du substrat : Acier inoxydable 316L
- Matériau d'étanchéité : Joint en caoutchouc/Joint métallique
- Raccords process : Raccords VCR / IGS
Avantages :
- Stabilité du point zéro à long terme
- Mesure et contrôle de haute précision
- Réponse rapide, haute répétabilité
- Circuit d'écoulement entièrement métallique
- Fonction de réglage multimédia/multi-gamme
- Interfaces DeviceNet, RS-485 et analogiques
Applications types :
Procédés de fabrication de semi-conducteurs, systèmes de dépôt de couches minces, systèmes de processus épitaxiaux, systèmes de revêtement de surface de précision, équipements à vide poussé, systèmes d'analyse et autres domaines.
