Description
Les sphères PSL perles latex polystyrène sont utilisées pour la calibration de taille d’instruments de mesure de particules d’aérosols et de SSIS (système d’inspection par scannage de surface) également connus sous le nom de systèmes d’inspection de wafers.
Ils sont proposés en solutions d’eau DI avec une concentration de 1 % en dessous de 2 µm de diamètre et < 1% de concentration de 2 - 160 µm
2 versions sont donc proposées :
Les instruments aérosols comme les compteurs de particule requièrent une calibration de taille < 10 nm et > 10 µm.
Les outils d’inspection de surface comme les systèmes d’inspection de wafers de KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, KLA-Tencor SPS et SPS-XP, Hitachi, Topcon requièrent également une calibration par taille et utilisent les sphères PSL pour la calibration de 20 nm à 10 µm.
Ils peuvent également utiliser les particules de silice.
Les standard de calibration de taille nanosphèrique de PSL sont de taille uniforme, fabriquées en latex et calibrées avec une précision de l’ordre de nanomètres en utilisant une méthode raccordable au NIST.
Un nanomètre étant équivalent à 0,000000001 micron (µm) ou 10 angstroms.
Les sphères latex polystyrène ont une densité de 1,05 g/cm3 et ont un index de réfraction de 1,59 à 589 nm (25 °C).
Les tailles de particules sous 1,0 µm sont décrites en taille nanomètre (nm) de référence.
Caractéristiques techniques :
- sphères de latex uniformes sont proposé »es pour des tailles précises entre 20 nm et 160 µm
- diamètre de sphère est calibré selon des dimensions linéaires transférées de standards NIST SRM
- sphères de latex polystyrène réduisent le temps de réponse des compteurs de particules pendant la calibration
- sphères PSL sont packagées sous formes de bouteilles de 15 mL avec solutions en suspension dans de l’eau DI, avec capuchon scellé et pointe d’ouverture
- sphères PSL sont mélangées à une solution d’eau DI pour diluer dans la bouteille leur forte concentration
- chaque bouteille latex polystyrène est identifié avec numéro de lot
- certificat MSDS inclut dans le package
- certificat de taille inclut dans le package
