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Date de disponibilité :
Les nettoyeurs plasma de chez HARRICK PLASMA nécessitent une pompe à vide d'un débit minimum de 1,4 m³/h (23 l/min) et d'une pression totale maximale de 200 mTorr (0,27 mbar).
Les pompes à palettes rotatives avec huile hydrocarbonée conviennent au pompage de gaz non réactifs ou inertes (par exemple, air, N₂ ou Ar). Ces pompes ne sont pas conçues pour pomper de l'oxygène.
Caractéristiques techniques :