Nettoyeur plasma étendu : PDC-001/002/-CE | HARRICK PLASMA

Notre nettoyeur plasma étendu est un instrument plasma de table plus grand, quatre fois plus performant que le nettoyeur plasma standard. Il est largement utilisé pour le nettoyage et l'activation de surfaces à l'échelle nanométrique.

Exigences :

• Pompe à vide compatible avec les gaz, avec un débit minimum de 23 l/min et une pression totale maximale de 200 mTorr.

• Pompes à vide compatibles disponibles :

  • Pour le pompage de gaz non réactifs (air, N2, Ar), consultez les pompes à vide à huile.
  • Pour le pompage d'oxygène concentré ou pur, consultez les pompes de service pour oxygène.

Caractéristiques :

• Appareil compact de table
• Réglages de puissance RF réglables (faible, moyen, élevé)
• Puissance RF maximale de 30 W
• Chambre en Pyrex de 15 cm de diamètre × 16,5 cm de longueur
• Porte à charnières avec hublot
• Refroidissement par ventilateur actif
• Interrupteur intégré pour pompe à vide (non disponible sur le modèle CE)
• Vanne de dosage NPT 1/8" pour un contrôle qualitatif du débit de gaz et de la pression de la chambre
• Vanne 3 voies NPT 1/8" pour une commutation rapide entre l'introduction de gaz, la ventilation et l'isolation de la chambre
• Poids : 17,9 kg
• Dimensions : 28 cm × 46 cm × 23 cm

Accessoires en option :

• Mélangeur de flux de gaz PlasmaFlo pour le contrôle quantitatif de deux (2) gaz de procédé maximum et la surveillance de la pression de la chambre
• Chambre en quartz pour applications avec gaz réactifs et applications sensibles à la contamination
• Plateau d'échantillons facilitant le chargement et le déchargement de petits échantillons pour le traitement par lots