Chambre Pyrex pour nettoyeurs plasma : PDC-191-420/105 | HARRICK PLASMA

L'achat du nettoyeur plasma comprend une chambre en Pyrex. Le Pyrex est suffisant pour la plupart des applications de nettoyage plasma des lames de verre, des plaquettes de silicium et des polymères. Une chambre en quartz est recommandée en option pour les gaz fluorés (par exemple, CF4) et pour les échantillons ou applications très sensibles aux éléments qui composent la composition chimique du Pyrex (verre borosilicate).

Caractéristiques techniques :

PDC-191-420 (pour nettoyeurs plasma étendus) :

• Dimensions de la chambre : 150 × 170 mm
• Matériau de la chambre : Pyrex
• Sortie de la chambre : Tube de 1/2" de diamètre extérieur

PDC-191-105 (pour nettoyeurs plasma de base) :

• Dimensions de la chambre : 75 × 170 mm
• Matériau de la chambre : Pyrex
• Sortie de la chambre : Tube de 1/2" de diamètre extérieur