Mélangeur de flux de gaz PlasmaFlo : PDC-FMG/-2 | HARRICK PLASMA

Le PlasmaFlo est un accessoire optionnel compatible avec tous nos modèles de nettoyeurs plasma. Il permet un contrôle quantitatif plus précis du débit de gaz et une surveillance de la pression de vide, ce qui améliore la répétabilité et la cohérence du processus.

Modèles compatibles :

• PDC-32G / PDC-32G-2 : Nettoyeur plasma basique
• PDC-001 / PDC-002 : Nettoyeur plasma étendu
• PDC-001-HP / PDC-002-HP : Nettoyeur plasma étendu haute puissance

Caractéristiques :

• Double alimentation en gaz pour le mélange ou le contrôle quantitatif indépendant de deux (2) gaz de procédé maximum.
• Débitmètres avec une précision de ± 2 % à pleine échelle et un débit maximal de 50 ml/min (pour l'air atmosphérique à 0 psig)*.

*Le débit maximal varie en fonction du gaz de procédé et de la pression régulée. Des tableaux de débit corrélés sont disponibles pour les gaz les plus courants (air, Ar, N₂, O₂), mesurés à 10 psig. Des tableaux de débit pour d'autres gaz et pressions régulées sont également disponibles.

• Possibilité d'ajouter une deuxième source de gaz sans avoir à changer manuellement les conduites.
• Capteur de vacuomètre à thermocouple connecté à la porte avant du nettoyeur plasma.
• Compteur numérique affichant une plage de pression de 1 mTorr à 760 Torr.
• Poids : 3,2 kg.
• Dimensions : 21,6 cm (H) × 25,4 cm (L) × 20,3 cm (P).