Nettoyeur plasma basique : PDC-32G/-2 | HARRICK PLASMA

Notre nettoyeur plasma basique est un instrument plasma de table compact et économique, doté d'une porte à charnière et d'une fenêtre de visualisation repensées, d'un refroidissement par ventilateur actif et d'une vanne de dosage améliorée. Il est adapté au nettoyage de surfaces à l'échelle nanométrique et à l'activation de petits échantillons.

Exigences :

• Pompe à vide compatible avec les gaz, avec un débit minimum de 23 l/min et une pression totale maximale de 200 mTorr.
• Pompes à vide compatibles disponibles.
  o Pour le pompage de gaz non réactifs (air, N₂, Ar), consultez les pompes à vide à huile.
  o Pour le pompage d'oxygène concentré ou pur, consultez les pompes de service pour oxygène.

Caractéristiques :

• Appareil compact de table
• Réglages de puissance RF réglables (faible, moyen, élevé)
• Puissance RF maximale de 18 W
• Chambre en Pyrex de 7,6 cm de diamètre × 16,5 cm de longueur
• Porte à charnières avec hublot
• Refroidissement par ventilateur actif
• Interrupteur intégré pour pompe à vide (modèle 115 V uniquement)
• Vanne de dosage NPT 3/8" pour un contrôle qualitatif du débit de gaz et de la pression de la chambre
• Vanne 3 voies NPT 3/8" pour une commutation rapide entre l'introduction de gaz, la ventilation et l'isolation de la chambre
• Poids : 5,9 kg
• Dimensions : 21,6 cm H × 25,4 cm l × 20,3 cm P

Accessoires en option :

• Mélangeur de flux de gaz PlasmaFlo pour le contrôle quantitatif de deux (2) gaz de procédé maximum et la surveillance de la pression de la chambre
• Chambre en quartz pour les applications de gaz réactifs et les applications sensibles à la contamination
• Plateau d'échantillons facilitant le chargement et le déchargement de petits échantillons pour le traitement par lots